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电话：+86-0597-3011819
地址：福建省龙岩市永定区高陂镇永定工业园区
福建中晶科技有限公司
关于Nikon光刻机维修调试项目采购公告
一、项目名称
福建中晶科技有限公司Nikon光刻机维修调试项目
二、服务要求说明
见附件
三、投标有关事项及要求
1.必须响应验收技术要求；
2.当有下列情况之一发生时，将依废标处理：
2.1报价函有涂改的；
2.2修改原报价单报价明细的；
2.3投标人不足三家的；
2.4本次采购项目报价最高限价为人民币18万元（含国家规定的增值税税费）。高于最高限价的报价为无效报价，作废标处理。
四、投标截止日期
投标截止时间：即日起至2022年11月29日下午17:00（以收到参选材料时间为准）。
五、报名方式、邮寄地址
参选材料须在规定的投标截止期限前快递或直接密封送达至我司。
邮寄地址：龙岩市永定区高陂镇永定工业园区福建中晶科技有限公司
联系人：吴女士
联系电话：19906970336 （0597-3011820）
六、参选材料
1.营业执照复印件（加盖公章）；
2.法人身份证复印件（加盖公章）；
3.报价函（加盖公章）；
4.服务内容与验收技术要求（加盖公章）。
七、定标方式
本次采购项目采用最低价中标方式，即总报价最低单位为第一中标人，相同报价时优先选择服务过本企业项目的投标人。
八、注意事项
1.参选人在参与本次比选过程中须严格遵守国家有关法律法规、政策及廉洁从业的各项规定。
2.中标人需在收到中标通知书3个工作日内与招标方签订合同。
3.业务联系人：钟女士
联系电话：13600999797
附件
服务内容与验收技术要求
一、设备编号、型号、数量
序号 | 设备编号 | 设备型号 | 数量 | 单位 |
1 | GKJ15 | i8 | 1 | 台 |
二、设备调试地点：
福建中晶科技有限公司厂内。
三、交货（工程）期限：
乙方向甲方承诺有技术、条件、人员及能力对甲方一台Nikon i8光刻机进行维修调试。在合同生效后乙方需在20天内将甲方现场一台i8光刻机维修调试完成并交付生产使用。
四、验收技术要求
1、硬件测试
No. | Acceptance Item | Specifications | 响应与否 | 偏离情况 |
1 | 分辨率（Resolution） | 0.55um um L&S (At best Focus) | ||
2 | 焦深（DOF） | 0.6umDOF /10%CD variation | ||
3 | 曝光强度 （Exposure Power） | 500mW/cm2 or More (flash) | ||
5 | 照明均匀性 （Illumination Uniformity） | Within ±2.0% | ||
6 | 工作台步进精度 （Stepping Precision） | 3σ≤90nm | ||
7 | 掩膜旋转(Reticle Rotation) | |M|+3σ≤20nm | ||
8 | wafer flatness（Max-Min） | <20 （1/10micron） | ||
9 | 平整度：Chip leveling accuracy | Within +/-1.5sec |
2、招标人提供条件：
本次维修调试投标人包工包料，维修期间设备所需更换的所有配件，由投标人负责购买及更换，招标人只提供基本的水电等基本设施。
3、设备质量要求及验收指标：
投标人的调试遵循设备原厂的设备运行原理，在调试后应恢复到最好性能和精度，满足招标人大规模、稳定光刻生产的需求；设备的硬件及工艺问题，投标人负责维修和调试。验收的方法为必须达到招标人能大规模生产PSS工艺产品所需的工艺技术要求，选用Φ100.8mm标准蓝宝石片进行测试。投影光刻专用i线光刻胶，其中蓝宝石TTV≤5,涂胶膜厚中心值在2.6±0.1μm范围内，胶厚均匀性≤2.0%。
验收指标
1、曝光场尺寸8.5×8.5mm,以我司AOI为检测标准做出的PSS光刻产品产出无格线或明暗场、无拼接错位；
2、曝光场尺寸8.5×8.5mm，产能≥525片/天。
3、在设备量产操作的情况下连续800片内无任何非人为异常故障与失误。
其他工艺条件：按i线光刻工艺及相关投影工艺而定。测定方法按行业通行的电镜法或双方认可的其他方法进行。
