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电话：+86-0597-3011819
地址：福建省龙岩市永定区高陂镇永定工业园区
福建中晶科技有限公司
年产120万片技改项目烤箱设备招标公告
一、项目名称
福建中晶科技有限公司年产120万片技改项目烤箱设备采购项目。
二、项目技术要求及售后服务书
见附件1
三、投标有关事项及要求：
1.必须响应技术要求及售后服务（附件1）承若。
2.本次招标范围（采购范围）包括设备的供应、运输、安装、调试、培训及售后服务。
3.采购的设备（洗涤塔）应在合同签订后30天内（含30天）出厂验收合格并交货。
4.投标人如果完全响应上述第三项第1、2、3点要求，请提供技术要求及售后服务书（附件1）和报价函（附件2）的盖章原件（原件请密封并在密封袋上加盖投标人公章）。
5.当有下列情况之一发生时，将依废标处理：
5.1报价函有涂改的；
5.2 投标人不足三家的；
四、评标标准
本次招标比选活动，采用最低价中标方式，即总报价最低投标人为第一中标人，同等报价时优先选择服务过本企业项目的投标人。
五、投标截止日期
投标截止时间：2022年1月14日上午11:00（以收到投标文件时间为准）。
六、报名方式、邮寄地址
参选材料须在规定的投标截止期限前快递或直接密封送达至我司且在外包装袋上注明“烤箱设备投标”。
邮寄地址：龙岩市永定区高陂镇永定工业园区
福建中晶科技有限公司。
邮寄收件联系人：吴女士
联系电话：19906970336 （0597-3011820）
业务联系人：孔先生
联系方式：15280390026
七、投标材料
1.营业执照复印件（加盖公章）；
2.法人身份证复印件（加盖公章）；
3.报价函原件（须加盖公章）；
4.技术要求及售后服务（须加盖公章）。
八、其他要求
参选人在参与本次比选过程中须严格遵守国家有关法律法规、相关政策及廉洁从业的各项规定。
中标人需在收到中标通知书5个工作日内与招标方签订合同。
附件：1.技术要求及售后服务
2.报价函
附件1：
烤箱设备技术要求及售后服务书
一、技术要求
1、机外壳采用冷轧钢板，内胆及HMDS气体管路使用不锈钢316L材料，整体使用无缝焊接。整个系统材料优质制造，无发尘材料，适用100级洁净车间。
2、可调节箱门闭合松紧度，一体成型硅橡胶门密封圈，确保箱内高真空度。高密闭性，钢化、防弹双层玻璃门，确保HMDS气体无外漏。
3、智能控温，具有设定测定温度双数字显示和PID自整定功能，温度：RT+10-250℃，使用温度200℃；控温范围：温度分辨率0.1℃，温度波动度：±0.5℃
4、智能化触摸屏控制系统配套PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序温度、真空度以及每一个程序时间。
5、HMDS管路带加热功能，使HMDS更易转为气态进入箱体内，内胆外壁四周加热。
6、带有高低液报警装置，且药液瓶可视液位高低。
7、温度与PLC互联保护功能。
8、内胆尺寸：450×450×450mm 外尺寸（长×宽×高）：1030×940×1730mm,尺寸偏差不超过10%
9、温度波动度: ±0.5℃（100-150℃工作温度）
10、温度均匀性: ±2%℃
11、载物托架：2块，可放置4-12寸晶圆
12、真空泵：油泵
13、抽速: 3min之内达到（优于）133pa
14、回压: 30min回压小于200pa
15、洁净度:Class100。0.3um颗粒增长小于50颗（百级洁净车间环境下，使用中晶颗粒测试仪测量：CLJ-BII(D)）
16、加热方式：腔体下部及两侧加热
17、开箱温度可以由USER自行设定来降低process时间
18、可分步编程0-99步，可加入温度值、真空值链锁、可编程抽真空、充氮气、加HMDS，可单独、可同时。
19、电源：AC 220V±10%、50Hz±2% 输入功率：2400W
20、外壳温度: 腔内150℃工作温度下，外壳温度≤45℃，防止烫伤。
21、产能：≥15万片/月（4寸）。
二、售后服务
1、设备保修期为设备验收单签署之日起12个月。
2、保修期内乙方负责设备的维修与损坏备件更换，不收取任何费用，但是不包含设备的定期保养以及定期保养所需的易耗件。并且提供终身维修服务。
3、乙方在接到甲方报修通知后，24小时内响应并提出解决方案，并与甲方充分协商解决。
附件2：
福建中晶科技有限公司一台烤箱设备采购项目
报价函
一、我司承若：
1.完全响应本项目的要求。
2.在投标截止日前提供标的的正式报价。
二、标的费用报价：
金额单位：万元
序号 | 标的 | 单位 | 数量 | 单价（含税） | 总价（含税） | 备注 |
1 | 烤箱 | 台 | 1 |
说明：1.报价最多保留至小数点后2位。
投标人：
（盖章）
年 月 日
